回流降温酸槽处理系统及酸液回收处理方法

摘要

回流降温酸槽处理系统，包括一盛装有制程酸液之制程槽及一盛装有缓冲酸液之调和槽，其改良在于，调和槽经由一循环回流管线与制程槽相连通，调和槽并经由一排放管与一厂务端相连通，循环回流管线用以将调和槽中之一部分的缓冲酸液导入制程槽中与制程酸液均匀混合而降温，然后透过排放管将降温后的混合酸液排放至厂务端。藉此，可以节省一半以上的冷却时间。

主权项

一种回流降温酸槽处理系统，包括：一制程槽，用以盛装一制程酸液，所述制程酸液具有第一温度；以及一调和槽，用以盛装一缓冲酸液，所述缓冲酸液具有低于所述第一温度的第二温度，所述调和槽经由一循环回流管线与所述制程槽相连通；以及其中，所述循环回流管线用以将所述调和槽内之一部分的所述缓冲酸液导入所述制程槽内与所述制程酸液均匀混合，以形成一温度介于所述第一温度与所述第二温度之间的一调和酸液，并且将一部分的所述调和酸液导回所述调和槽中与另一部分的所述缓冲酸液均匀混合，以形成另一温度介于所述调和酸液的温度与所述第二温度之间的所述缓冲酸液。