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发明名称 INSPECTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH042141(A) 申请公布日期 1992.01.07
申请号 JP19900103524 申请日期 1990.04.19
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 KAWANA KEIICHI
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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