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发明名称 MAGNETRON SPUTTERING SOURCE
摘要
申请公布号 JPH042775(A) 申请公布日期 1992.01.07
申请号 JP19900106233 申请日期 1990.04.19
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 ONO SHINICHI;OSONO MASA;SAITO HIROSHI
分类号 C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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