发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04717(A) 申请公布日期 1992.01.06
申请号 JP19900102109 申请日期 1990.04.18
申请人 SEIKOSHA CO LTD;NIPPON PRECISION CIRCUITS KK 发明人 TONEGI HIROSHI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/90 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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