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发明名称 DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04391(A) 申请公布日期 1992.01.06
申请号 JP19900100312 申请日期 1990.04.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITO ATSUSHI;TAMURA NAOYUKI;KATO SHIGEKAZU;NISHIHATA KOJI;TSUBONE TSUNEHIKO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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