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发明名称
摘要
申请公布号	JPH04229(B2)	申请公布日期	1992.01.06
申请号	JP19830181641	申请日期	1983.09.28
申请人	ADVANTEST CORP	发明人	YAMAGUCHI TAKAHIRO;OGAWA MASAYUKI;KASAHARA TOSHIHARU
分类号	G01R27/28;G01R23/16	主分类号	G01R27/28
代理机构		代理人
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