发明名称 OPTISCHES SYSTEM ZUM POSITIONSFESTSTELLEN EINER OBJEKTIVLINSE.
摘要
申请公布号 DE3584682(D1) 申请公布日期 1992.01.02
申请号 DE19853584682 申请日期 1985.02.28
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA;TOSHIBA AUTOMATION EQUIPMENT ENGINEERING LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 ANDO, HIDEO C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP;DOI, AKIHIKO, TOKYO, JP
分类号 G11B7/085;G11B7/09;(IPC1-7):G11B7/08 主分类号 G11B7/085
代理机构 代理人
主权项
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