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发明名称 SOLID STATE MICROWAVE POWERED MATERIAL AND PLASMA PROCESSING SYSTEMS
摘要
申请公布号 EP0432573(A3) 申请公布日期 1992.01.02
申请号 EP19900122701 申请日期 1990.11.28
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CUOMO, JEROME JOHN;GUARNIERI, CHARLES RICHARD;WHITEHAIR, STANLEY
分类号 H05B6/64;H05B6/68;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H05B6/64
代理机构 代理人
主权项
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