| 摘要 |
Es wird eine Katodenzerstäubungsvorrichtung vorgeschlagen, die mit einer Spannhülse (10), die als Sperriegel ausgebildet ist, versehen ist. Der Sperriegel wird um ein bestimmtes Maß um die Achse des Targetaggregats (1, 2) verdreht. Hierdurch werden Wälzkörper (12), insbesondere Kugeln, nach außen gedrückt. Damit wird das Targetaggregat (1, 2) durch Verklemmung in seiner Arbeitsposition verriegelt. Der Gegenstand der Erfindung zeichnet sich dadurch aus, daß ein schnelles Auswechseln des Targets (1) möglich wird. <IMAGE>
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