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发明名称 PROCESS FOR PREPARING SUPERCONDUCTIVE THIN FILMS
摘要
申请公布号 AU7919891(A) 申请公布日期 1992.01.02
申请号 AU19910079198 申请日期 1991.06.20
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 HIDEO ITOZAKI;HISAO HATTORI;KEIZO HARADA;TAKASHI MATSUURA
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C23C14/34;C23C14/50;C30B23/08;C30B29/22;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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