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发明名称 MULTI-CHANNEL PLASMA DISCHARGE ENDPOINT DETECTION SYSTEM AND METHOD
摘要
申请公布号 EP0458324(A3) 申请公布日期 1992.01.02
申请号 EP19910108332 申请日期 1991.05.23
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 CHENG, DAVID
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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