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发明名称 FORMING WELLS IN SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 EP0391561(A3) 申请公布日期 1992.01.02
申请号 EP19900302868 申请日期 1990.03.16
申请人 INMOS LIMITED 发明人 TEAGUE, MARTIN JOHN;STRACHAN, ANDREW DEREK;HENRY, MARTIN ANDREW
分类号 H01L27/08;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/316;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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