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发明名称 EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0419240(A3) 申请公布日期 1992.01.02
申请号 EP19900310267 申请日期 1990.09.19
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 NOSE, NORIYUKI;EBINUMA, RYUICHI;OZAWA, KUNITAKA;KARIYA, TAKAO;UZAWA, SHUNICHI
分类号 G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
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