发明名称 MEANS OF PLANARIZING INTEGRATED CIRCUITS WITH FULLY RECESSED ISOLATION DIELECTRIC
摘要
申请公布号 EP0461498(A3) 申请公布日期 1992.01.02
申请号 EP19910108982 申请日期 1991.06.01
申请人 NATIONAL SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 PIERCE, JOHN M.;AHN, SUNG TAE
分类号 H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/76;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/321 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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