| 发明名称 |
PROCESS FOR PRODUCING MICROMECHANICAL SENSORS HAVING OVERLOAD PROTECTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2245366(A) |
申请公布日期 |
1992.01.02 |
| 申请号 |
GB19910010581 |
申请日期 |
1991.05.16 |
| 申请人 |
* ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
F* BANTIEN;GUENTHER * FINDLER |
| 分类号 |
G01L1/26;B81B3/00;B81C1/00;G01P15/08;H01L21/306;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L1/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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