VACUUM VAPOR DEPOSITION APPARATUS

摘要

본 발명의 진공 증착 장치는, 타겟이 배치되는 위치를 향해 배치되는 증발원과, 증발원을 포위하며, 증착재가 방출되는 방출구를 갖는 증발원 커버와, 증발원 커버의 주위에 배치되는 방착판과, 증발원으로부터 방출되는 증착재에 의한 막두께를 검출하는 막두께 센서와, 재반사되어 막두께 센서에 조사할 수 있는 위치에 마련되며, 막두께 센서에 조사할 수 있는 열을 억제하는 열반사 억제 수단을 구비한다.