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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING DEFECT OF MOUNTED COMPONENT WITH SLIT LIGHT
摘要
申请公布号 US5076697(A) 申请公布日期 1991.12.31
申请号 US19880257969 申请日期 1988.10.14
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 TAKAGI, YUJI;KATSUTA, DAISUKE;HATA, SEIJI
分类号 G01R31/28;G01R31/308;G01R31/309;H01L21/68;H05K13/08 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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