发明名称 METYLENKLORIDBASERAD KOMPOSITION OCH FOERFARANDE FOER AVLAEGSNANDE AV FOTORESISTFILMER SOM BASERAD SIG PAO ANVAENDNINGEN AV KOMPOSITIONEN.
摘要
申请公布号 FI84630(C) 申请公布日期 1991.12.27
申请号 FI19870003189 申请日期 1987.07.20
申请人 ATOCHEM, 发明人 CAMPOS,MICHEL;BOUSSAGUET,JEAN-CHARLES;LETULLIER,JEAN-PHILIPPE
分类号 C07C17/42;C11D7/26;C11D7/28;C11D7/50;C23G5/028;G03F7/42;H05K3/28;(IPC1-7):C23G5/028;G03F7/26 主分类号 C07C17/42
代理机构 代理人
主权项
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