发明名称 |
METYLENKLORIDBASERAD KOMPOSITION OCH FOERFARANDE FOER AVLAEGSNANDE AV FOTORESISTFILMER SOM BASERAD SIG PAO ANVAENDNINGEN AV KOMPOSITIONEN. |
摘要 |
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申请公布号 |
FI84630(C) |
申请公布日期 |
1991.12.27 |
申请号 |
FI19870003189 |
申请日期 |
1987.07.20 |
申请人 |
ATOCHEM, |
发明人 |
CAMPOS,MICHEL;BOUSSAGUET,JEAN-CHARLES;LETULLIER,JEAN-PHILIPPE |
分类号 |
C07C17/42;C11D7/26;C11D7/28;C11D7/50;C23G5/028;G03F7/42;H05K3/28;(IPC1-7):C23G5/028;G03F7/26 |
主分类号 |
C07C17/42 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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