发明名称 THIN FILM TRANSISTOR AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03297172(A) 申请公布日期 1991.12.27
申请号 JP19900100615 申请日期 1990.04.17
申请人 NEC CORP 发明人 SERA KENJI
分类号 H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址