发明名称 VACUUM CHUCK POSITIONING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH03297161(A) 申请公布日期 1991.12.27
申请号 JP19900100944 申请日期 1990.04.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SAKAMOTO TETSUYA
分类号 H01L23/32 主分类号 H01L23/32
代理机构 代理人
主权项
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