发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03297154(A) 申请公布日期 1991.12.27
申请号 JP19900100866 申请日期 1990.04.17
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 OHIRA TAKESHI
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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