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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM SUPERCONDUCTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03297180(A) 申请公布日期 1991.12.27
申请号 JP19900099706 申请日期 1990.04.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HATTA SHINICHIRO;FURUBIKI SHIGEMI
分类号 H01L39/24 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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