发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03297171(A) 申请公布日期 1991.12.27
申请号 JP19900100853 申请日期 1990.04.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIGASHIYA KEIICHI;ODA SHUICHI;KATAYAMA TOSHIHARU
分类号 H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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