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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03297140(A)
申请公布日期
1991.12.27
申请号
JP19900100954
申请日期
1990.04.16
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YOSHIMURA HIDEFUMI
分类号
H01L21/3205;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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