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发明名称 METHOD OF THIN FILM FORMATION
摘要
申请公布号 EP0435639(A3) 申请公布日期 1991.12.27
申请号 EP19900314202 申请日期 1990.12.21
申请人 SHIMADZU CORPORATION 发明人 KOBAYASHI,YUTAKA;SHINOHARA, MAKOTO;OGAWA, KIYOSHI;OHTANI, FUMIHIKO MELODY HEIM;KISHIHARA, HIYOYUKI
分类号 H01L21/20;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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