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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03296222(A) 申请公布日期 1991.12.26
申请号 JP19900098108 申请日期 1990.04.13
申请人 NEC CORP 发明人 TANAKA SHINICHI
分类号 H01L29/73;H01L21/288;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/417;H01L29/737 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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