| 发明名称 |
METHOD FOR LIQUID PHASE EPITAXY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03295894(A) |
申请公布日期 |
1991.12.26 |
| 申请号 |
JP19900097589 |
申请日期 |
1990.04.16 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
FUJIWARA YUICHIRO;KANETANI MASATOSHI;MORIYA AKIHIRO |
| 分类号 |
C30B19/10;C30B29/36;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B19/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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