发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH03295142(A) 申请公布日期 1991.12.26
申请号 JP19900096407 申请日期 1990.04.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 KURODA KATSUHIRO;MURATA KENJI
分类号 H01J37/244;H01J37/28 主分类号 H01J37/244
代理机构 代理人
主权项
地址