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发明名称 MANUFACTURE OF DIELECTRIC ISOLATED SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH03295256(A) 申请公布日期 1991.12.26
申请号 JP19900097319 申请日期 1990.04.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 KATO KAORU;KAMI HIRONORI;TERASAWA TOMIZO;OGAWA MASANOBU;SAKAMOTO SHINJI
分类号 H01L21/762;H01L21/76;H01L31/10 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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