发明名称 PREPARATION OF SUBSTRATE FOR EVALUATION USE AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03295237(A) 申请公布日期 1991.12.26
申请号 JP19900096438 申请日期 1990.04.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 HAMANO MEGUMI;OTAKE MITSUYOSHI
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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