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发明名称 DOSE QUANTITY MONITOR FOR ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH03295144(A) 申请公布日期 1991.12.26
申请号 JP19900095955 申请日期 1990.04.10
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 NISHIMOTO HISAHIRO;KAIMOTO AKIRA
分类号 H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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