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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03296272(A) 申请公布日期 1991.12.26
申请号 JP19900098881 申请日期 1990.04.13
申请人 SONY CORP 发明人 TAKAGI MITSUHARU
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/088 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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