发明名称 HEAT TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03293723(A) 申请公布日期 1991.12.25
申请号 JP19900095652 申请日期 1990.04.11
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 G01K11/12;H01L21/26 主分类号 G01K11/12
代理机构 代理人
主权项
地址