发明名称 APPARATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03293571(A) 申请公布日期 1991.12.25
申请号 JP19900096966 申请日期 1990.04.12
申请人 NEC CORP 发明人 MAEDA TETSUNORI
分类号 G01R31/26;G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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