发明名称 SURFACE MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH03293510(A) 申请公布日期 1991.12.25
申请号 JP19900094006 申请日期 1990.04.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKADA KEIJI
分类号 G01B17/00;G01B17/08;G01B21/30 主分类号 G01B17/00
代理机构 代理人
主权项
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