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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH03293744(A) 申请公布日期 1991.12.25
申请号 JP19900095863 申请日期 1990.04.11
申请人 NEC CORP 发明人 HONMA YASUAKI
分类号 H01L23/50;H01L21/66 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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