发明名称 |
METHOD OF MAKING A BIC MEMORY CELL HAVING CONTACT OPENINGS WITH STRAIGHT SIDEWALLS AND SHARP-EDGE RIMS |
摘要 |
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申请公布号 |
US5075249(A) |
申请公布日期 |
1991.12.24 |
申请号 |
US19890331193 |
申请日期 |
1989.03.31 |
申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
SATO, NORIAKI;IMAOKA, KAZUNORI |
分类号 |
H01L27/112;G11C17/00;H01L21/768;H01L21/8246;H01L27/115 |
主分类号 |
H01L27/112 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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