发明名称 THIN FILM FIELD EFFECT TRANSISTOR AND A METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 US5075746(A) 申请公布日期 1991.12.24
申请号 US19890380640 申请日期 1989.07.14
申请人 AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY;TAIYO YUDEN CO., LTD. 发明人 HAYASHI, YUTAKA;YAMANAKA, MITSUYUKI;YOSHIMI, TAKASHI
分类号 H01L27/088;H01L21/336;H01L21/337;H01L21/338;H01L21/8234;H01L21/84;H01L29/43;H01L29/78;H01L29/786;H01L29/808;H01L29/812 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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