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经营范围
发明名称
MICROWAVE PLASMA PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号
JPH03291925(A)
申请公布日期
1991.12.24
申请号
JP19900092113
申请日期
1990.04.09
申请人
TOSHIBA CORP;TOSHIBA ELECTRON ENG CORP
发明人
MURANAKA TSUNEO;TOYOSHIMA MASAKAZU;HAYASHI HIDETOSHI
分类号
H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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