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经营范围
发明名称
COATING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH03293055(A)
申请公布日期
1991.12.24
申请号
JP19900091684
申请日期
1990.04.06
申请人
TOKYO OHKA KOGYO CO LTD;TATSUMO KK
发明人
SAGO HIROHITO;KUDO KATSUHIKO;NAKAYAMA MUNEO;HASHIMOTO MICHIO;KAWAKAMI KAZUYUKI
分类号
G03F7/16;B05C11/08;G02F1/13;G02F1/1343;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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