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发明名称 PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH03292731(A) 申请公布日期 1991.12.24
申请号 JP19900095721 申请日期 1990.04.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ISHIDA TOSHIMICHI;OGURA HIROSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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