发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03292724(A) 申请公布日期 1991.12.24
申请号 JP19900094568 申请日期 1990.04.10
申请人 TOKYO ELECTRON SAGAMI LTD 发明人 UENO MASAMITSU
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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