发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH03292767(A) |
申请公布日期 |
1991.12.24 |
申请号 |
JP19900095730 |
申请日期 |
1990.04.10 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
FUJITA TSUTOMU;YAMAMOTO HIROSHI;FUJII TOYOKAZU;HIRAO HIDEJI;TERAI YUKA |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/28;H01L27/10;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|