发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03292767(A) 申请公布日期 1991.12.24
申请号 JP19900095730 申请日期 1990.04.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJITA TSUTOMU;YAMAMOTO HIROSHI;FUJII TOYOKAZU;HIRAO HIDEJI;TERAI YUKA
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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