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发明名称 ETCHING
摘要
申请公布号 JPH03292736(A) 申请公布日期 1991.12.24
申请号 JP19900093862 申请日期 1990.04.11
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 MORITA KATSUHIKO
分类号 C23F1/00;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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