发明名称 DEVICE FOR OBTAINING METAL-CONTAINING FILMS FROM CHEMICAL COMPOUND VAPORS
摘要
申请公布号 SU1700097(A1) 申请公布日期 1991.12.23
申请号 SU19894764505 申请日期 1989.12.04
申请人 GNII KHIMII TEKHNOLOGII ELEMENTOORGANICHESKIKH SOEDINENIJ 发明人 UELSKIJ ANATOLIJ A,SU;SYRKIN VITALIJ G,SU;PERSIYANTSEV VLADIMIR A,SU;TOLMASSKIJ IOSIF S,SU;SOTSKOV ALEKSANDR N,SU;GORBUNOV ANATOLIJ I,SU;FRANTSEV VLADIMIR N,SU
分类号 C23C16/458;C23C16/50 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
主权项
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