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发明名称 PROCESS FOR PREPARING HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON ALLOY
摘要
申请公布号 IN169759(B) 申请公布日期 1991.12.21
申请号 IN1989CA71219 申请日期 1989.08.31
申请人 SOLAREX CORP. 发明人 DICKSON CHARLES ROBERT
分类号 C22C21/00;H01L31/00;(IPC1-7):H01L31/00 主分类号 C22C21/00
代理机构 代理人
主权项
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