发明名称 METHOD FOR CRYSTAL GROWTH AND CRYSTAL PRODUCT OBTAINED BY THE METHOD
摘要
申请公布号 JPH03290921(A) 申请公布日期 1991.12.20
申请号 JP19900091655 申请日期 1990.04.06
申请人 CANON INC 发明人 KUMOMI HIDEYA
分类号 H01L21/20;H01L21/324;H01L21/84 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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