发明名称 SYNTHETIC SILICA GLASS MEMBER AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH03290330(A) 申请公布日期 1991.12.20
申请号 JP19900090780 申请日期 1990.04.05
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 OTSUKA HISATOSHI;TAKITA MASATOSHI;SHIMOMA AKIRA
分类号 C03B8/04;C03B19/14;C03B20/00;C03C3/06 主分类号 C03B8/04
代理机构 代理人
主权项
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