| 发明名称 |
ION SOURCE APPARATUS AND PRODUCTION OF CONTINUOUS VAPOR DEPOSITION MEDIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03291375(A) |
申请公布日期 |
1991.12.20 |
| 申请号 |
JP19900091707 |
申请日期 |
1990.04.05 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NANBU TARO;NAGASHIMA MICHIYOSHI;UENO FUMIAKI;KISHI TOSHINORI |
| 分类号 |
C23C14/48;G11B5/85;H01J37/08 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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