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发明名称
MANUFACTURE OF CRYSTALLINE SILICON FILM, CRYSTALLINE SILICON SEMICONDUCTOR UTILIZING THE SAME AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号
JPH03290924(A)
申请公布日期
1991.12.20
申请号
JP19900192072
申请日期
1990.07.20
申请人
RICOH CO LTD
发明人
ISHIDA MAMORU;TAGUCHI SATOSHI
分类号
H01L21/20;H01L21/324
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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